لقد جعل تطوير التكنولوجيا الحديثة تصنيع أشباه الموصلات أمرًا أساسيًا لتطوير تطوير صناعة الإلكترونيات. أرخص وأصغر الجسيمات التي تمت مواجهتها خلال مرحلة التصنيع لديها القدرة على تلف كل من وظائف الرقائق ونتائج التصنيع الخاصة بها. لقد أنشأت غرف النظافة نفسها الآن كمكونات مهمة لكل مرفق إنتاج أشباه الموصلات.

الغرفة النظيفة هي غرفة يتم فيها التحكم في تركيز الجزيئات المعلقة في الهواء. يجب أن يتم بناؤها واستخدامها لتقليل مقدمة الجسيمات والاحتفاظ بها في الغرفة. هناك حاجة إلى التحكم في المعلمات الأخرى ذات الصلة مثل درجة الحرارة والرطوبة والضغط وما إلى ذلك. يشير نظافة الهواء إلى حد كمية جزيئات الغبار في الهواء في بيئة نظيفة ، وتركيز الغبار العالي هو انخفاض النظافة ، وتركيز الغبار المنخفض هو نظافة عالية.

تتطلب صناعة أشباه الموصلات مع الطب الحيوي ومعالجة الأغذية غرف نظافة لضمان جودة المنتج. تتبع إدارة الغرفة النظيفة المتطلبات الدولية الموضحة في معيار ISO 14644 الذي يوضح تفاصيل فصول نظافة الهواء وإجراءات الاختبار وبروتوكولات الامتثال.

HEPA Box هو جهاز الترشيح الطرفي لنظام إمدادات الهواء لتنظيف. تتمثل الوظيفة الرئيسية في نقل الهواء النقي إلى الغرفة النظيفة بسرعة موحدة وتنظيم تدفق الهواء الجيد ، وترشيح جزيئات الغبار بفعالية في الهواء لضمان أن جودة الهواء في الغرفة النظيفة تلبي متطلبات مستوى النظافة المقابلة ، كما هو الحال في عملية تجميع الأدوية ، وورشة عمل التصنيع الإلكترونية ، وورشة تصنيع الرقائق الإلكترونية وغيرها من الأماكن المتطلبات العالية للغاية للمتطلبات البيئية. يمكن أن يوفر HEPA Box الهواء النظيف لتلبية عملية الإنتاج.