تصفح الكمية:0 الكاتب:محرر الموقع نشر الوقت: 2025-03-18 المنشأ:محرر الموقع
لقد جعل تطوير التكنولوجيا الحديثة تصنيع أشباه الموصلات أمرًا أساسيًا لتطوير تطوير صناعة الإلكترونيات. أرخص وأصغر الجسيمات التي تمت مواجهتها خلال مرحلة التصنيع لديها القدرة على تلف كل من وظائف الرقائق ونتائج التصنيع الخاصة بها. لقد أنشأت غرف النظافة نفسها الآن كمكونات مهمة لكل مرفق إنتاج أشباه الموصلات. تحمل غرفة النظافة هذه الأهمية لأي سبب؟ من خلال ما هي الآليات التي تحافظ عليها غرفة النظافة معايير الجودة والدقة لتصنيع الرقائق؟
تتطلب غرفة النظافة بروتوكولات الفحص والإدارة الكاملة لجميع المواد والمعدات لمنع الحدوث من الحدوث. تنتج معدات الإنتاج جزيئات صغيرة من شأنها أن تؤدي إلى عيوب رقاقة إذا لم يتم تنفيذ الضوابط المناسبة. تصبح التشغيل الفعال لأنظمة الترشيح ضرورية لأن المواد الكيميائية وكذلك المقاوم الضوئية والمذيبات المستخدمة في الإنتاج تولد ملوثات غازية كبيرة أثناء العمليات.
يلعب اختيار ملابس الموظفين دورًا مهمًا في إدارة يصبح التآكل الوقائي الخاص بما في ذلك الملابس والقفازات مع الأقنعة ضروريًا للوصول إلى الغرفة النظيفة لأن الملابس العادية تخلق أليافًا كبيرة مع جزيئات الغبار. الغرف النظيفة .
يستخدم التدفق أحادي الاتجاه تصميم غرفة تنظيف مرشحات HEPA أو ULPA لنقل الهواء إما في اتجاهات عمودية أو أفقية حتى يطلقه على مستوى الأرض أو على طول الجدران الجانبية. توفر هذه الطريقة إزالة فعالة من الملوثات ، مما يجعلها مناسبة لمساحات الإنتاج التي تحتاج إلى بيئات تشغيل نظيفة للغاية مثل مرافق تصنيع الرقائق.
يسمح تصميم تدفق الهواء للغرف النظيفة تحت توزيع غير الاتجاهي على حركة عشوائية حيث يدخل هواء الإمداد من خلال نقاط التهوية ثم يوزع في جميع أنحاء المنطقة بأكملها. تنجح هذه التقنية في العمليات التي تتطلب نظافة محدودة مثل الاختبار والتعبئة ، لكنها تتطلب مناطق نظيفة من فئة منخفضة.
يشتمل نظام التدفق المختلط على أنماط تدفق أحادية الاتجاه في المناطق الحيوية مع تنفيذ أنماط غير متطورة حيث تكون معايير النظافة المنخفضة مطلوبة. يجمع تصميم النظام بين حماية نظافة المنتج العالية في المناطق ذات الأولوية وظروف التشغيل الموفرة من حيث التكلفة.